摘要：谐振式微型光学陀螺（RMOG）是利用光学萨格纳克（Sagnac）效应产生的谐振频率差来测量旋转角速度的一种新型光学传感器,光波导环形谐振腔是谐振式微型光学陀螺的核心敏感部件。利用谐振腔内单点反射简化处理,结合多光束干涉叠加原理,得出了谐振腔背向散射输出谱线的表达式。在此基础上,利用激光器输出光频率进行扫描,对研制的保偏二氧化硅光波导环形谐振腔芯片进行了谐振曲线和背向散射谱的测试,得到了描述谐振腔背向散射特性的背向散射系数,实际测试曲线和理论仿真曲线吻合较好。

关键词：集成光学 环形谐振腔 二氧化硅光波导 背向散射 

单位：浙江大学信息与电子工程学系 浙江杭州310027