摘要：由于人机工程和仿生学设计的需要,空间曲面越来越多地出现在产品设计中,对于这些表面起伏比较大的工件的激光标刻,必须采用动态调焦三轴光束控制技术。分析了动态扩束调焦的原理,从离焦量与像场腰斑位置和大小的关系确定了调焦范围,给出了动态扩束聚焦镜的设计方法。将动态聚焦镜与X,Y方向扫描振镜一起搭建了三维激光标刻系统,在自由曲面上的标刻实验验证了系统的可行性,这种标记方式同样适用于其他二维平面的加工。

关键词：激光光学 激光标刻 空间曲面 动态调焦 高斯光束 

单位：天津大学精密仪器与光电子工程学院光电信息技术科学教育部重点实验室 天津300072 天津市力能激光技术有限公司 天津300072