摘要：利用中心波长为1040nm、脉宽为190fs、重复频率在200～5000kHz之间可调的飞秒激光对熔融石英进行微加工。研究了烧蚀阈值随脉冲重复频率、扫描速度的变化规律，阐明不同参数下热扩散效应及热累积效应对烧蚀过程的主导作用。在最优化条件下，制作了双线波导，可以对1040nm激光实现圆形基模传输。进一步制作了椭圆晶胞的六角微结构波导，对1040nm激光可以输出近高斯强度分布的基模，模场面积达到247．48μm2该微结构波导可实现单偏振传输，消光比达9．05，波导数值孔径约0．017。

关键词：激光技术 飞秒激光微纳加工 波导 光子晶体 

单位：天津大学精密仪器与光电子工程学院超快激光研究室 光电信息技术科学教育部重点实验室 天津300072