线上期刊服务咨询,发表咨询:400-808-1701 订阅咨询:400-808-1721

一种抑制相位测量轮廓术饱和误差的方法

赵婧 王永昌 刘凯 中国激光 2013年第10期

摘要:当利用相位测量轮廓术进行三维物体表面重建时,如果物体表面反射率很大,通过照相机捕获的光栅图像会发生光强度饱和现象,光栅光强度饱和会造成三维重建时的相位误差。对因光栅光强度饱和而导致的相位误差进行研究,并建立每个像素点各帧光强度值的数学模型,提出了一种利用末饱和光强值直接求解相位的新方法。通过仿真和实验分别验证了提出的算法的有效性。仿真结果表明,采用修复算法计算的相位,其误差的均方根值比修复前减小了92.5%;实验中利用该算法求得的相位误差,其均方根值比修复前的相位误差均方根值最多减小了82.8%。

关键词:测量相位测量轮廓术误差抑制算法光强度饱和相位误差

单位:四川大学电气信息学院 四川成都610064 KLA-Tencor Milpitas CA 95035 USA

注:因版权方要求,不能公开全文,如需全文,请咨询杂志社

中国激光

北大期刊

¥3820.00

关注 30人评论|0人关注