摘要：针对三倍频光学元件后表面的损伤修复形貌，分别采用时域有限差分法（FDTD）和瑞利-索末菲（R-s）衍射积分法，来模拟不同形貌下元件修复区域内以及其后续的光场分布。结果表明，当修复坑截面轮廓线端点切线与光束传播方向夹角大于70°时，元件内部光强极大值小于1．66，修复效果优于其他角度。夹角为70°、宽200μm的抛物面型、圆锥型和圆台型凹坑的后续光强极大值小于1．46。但是当修复坑宽度较大如达到1mm时，圆台型凹坑的后续光强极大值高达9．31，且作用区间长。因此，考虑实际激光修复工艺的难度，夹角大于70°的圆锥型凹坑是石英元件后表面损伤修复的首选形貌。

关键词：激光技术 激光损伤修复 时域有限差分法 瑞利索末菲衍射积分 

单位：中国科学院上海光学精密机械研究所高功率激光物理联合实验室; 上海201800; 中国科学院大学; 北京100049