摘要：测量激光光束质量（M~2）因子时一般要求光路准直,同时要求降低噪声对光斑半径测量的影响。光路偏移会导致CCD采集的光斑偏离CCD中心,噪声使偏移光束的光斑半径和M~2因子的测量值存在额外误差。针对含噪声且光路偏移CCD中心的情况,提出了一种测量M~2因子的改进方法,即当光路不准直时,在光路每个位置采集两个不同偏移量的光斑,则可校正得到光斑半径的真实值,从而得到无准直误差的M~2因子。理论推导了激光光束的光斑半径和M~2因子与偏移量的变化关系,通过数值仿真和实验研究了偏移光束的光斑半径和M~2因子随偏移量的变化,二者结果一致,验证了所提方法的可靠性。

关键词：测量 光束质量因子 准直误差 噪声 

单位：四川大学电子信息学院激光微纳工程研究所; 四川成都610064