摘要：采用脉冲激光沉积法,室温条件下在透明导电玻璃衬底上制备了Bi3.95Er0.05Ti3O12（BErT）薄膜。研究结果表明,低沉积氧气压下制备的BErT薄膜表面致密,平整无裂缝,且呈非晶结构;当沉积氧气压为3Pa时,BErT薄膜厚度约为180nm,表现出优秀的介电性能,即当测试频率为1kHz时,室温介电常数为52,介电损耗为0.025。同时,BErT薄膜的介电性能随频率、电压和温度的变化比较稳定,在可见光区间具有较高的透过率。

关键词：激光技术 薄膜 脉冲激光沉积 室温 介电性能 

单位：中山大学新华学院; 广东广州510520