摘要：以钛酸正丁酯、正硅酸乙酯为前驱体,在薄膜设计软件的辅助下,采用溶胶-凝胶法在K9光学玻璃上制备了λ/4-λ/2-λ/2膜系宽带减反膜。该膜层的光学性能良好,在500~900 nm波长范围内的平均透过率为99.25%,透过率增益随入射角增加而增大,斜入射光入射角从0°增至60°仍能有效覆盖钕玻璃的主吸收峰,此时平均透过率增益从7.2%增至10.2%;在150℃下进行热处理后,膜层具有一定的耐擦拭性能,表面均匀性良好,均方根粗糙度为4.00 nm。

关键词：材料 减反膜 膜层设计 薄膜 

单位：中国科学院上海光学精密机械研究所高功率激光物理重点实验室; 上海201800; 中国科学院大学材料与光电研究中心; 北京100049; 中国科学院上海光学精密机械研究所高功率激光单元技术研发中心; 上海201800