摘要：制备了介质上电润湿液滴驱动器,该驱动器采用'三明治'结构:下极板由Ti/Pt微电极阵列、Si3N4介质薄膜、碳氟聚合物疏水薄膜组成,上极板是覆盖有疏水薄膜的透明电极,液滴被夹在上下电极之间.分析了驱动器的驱动原理、驱动阻尼以及介质层捕获电荷的影响,讨论硅油填充'三明治'结构和空气填充'三明治'结构的差异.

关键词：微流体 芯片实验室 微机械 介质上电润湿 

单位：清华大学; 北京; 100084