摘要：基于刚性运动方程和非线性最优化方法提出了一种超精密二维工作台自标定模型,研究了随机测量误差在自标定过程中的传递特性,在此基础上提出了超精密二维工作台自标定算法.给出了一个应用实例,验证了该算法的可行性和有效性.

关键词：超精密 二维工作台 自标定 测量不确定度分析 

单位：清华大学; 北京; 100084