摘要：研究了压电微动机构非线性回滞的形成机理，建立了压电陶瓷电荷量与机械应变之间的数学表达式。为减小压电微动机构的非线性回滞环，采用电荷反馈控制方法对压电微动机构进行控制。实验结果表明，与传统的电压激励方式相比，采用电荷反馈激励方式，压电微动机构的回滞环减小了50%，线性度提高了35％。

关键词：压电陶瓷 微动机构 电荷反馈 回滞 

单位：国防科学技术大学; 长沙410073; 中国工程物理研究院机械制造工艺研究所; 绵阳621900