摘要：　提出了一种微流控芯片模具的快速批量制作方法。应用光刻与湿法腐蚀技术制作玻璃母模，然后采用热压成形技术批量制作聚甲基丙烯酸甲酯（PMMA）阳模，再利用阳模浇模、键合批量制作聚二甲基硅氧烷（PDMS）微流控芯片。结果表明，该法制作的PMMA模具及复制得到的PDMS芯片平整度好、一致性高，其沟道宽度和深度的相对标准偏差分别小于0.5％和1.5％。

关键词：微流控芯片 模具 热压法 

单位：厦门大学; 厦门361005