摘要：采用电容式深孔内径测量仪测量机械加工过程中小深孔的孔径。该测量仪采用直径较小的电容探针作为传感器，电容探针通过采用驱动电缆技术消除了杂散电容的影响，将孔径的变化转换为电压的线性变化，并通过USB接口将此电压信号输入到计算机系统中进行处理。论述了小深孔内径电容式测量方法的基本原理，设计了电容式深孔内径测量仪测量小深孔孔径系统的总体方案。该方法特别适用于Φ1mm～Φ7mm深孔的内径自动检测，对夺3mm孔径进行了实际测量，并分析了测量所得到的数据，多次测量的标准差小于0．5μm，测量分辨率为0．05μm。

关键词：小深孔 电容探针 传感器标定 驱动电缆 

单位：武汉科技大学; 武汉430070; 天津大学精密测试技术及仪器国家重点实验室; 天津300072