摘要：研究了离子束加工系统的后置算法和误差补偿等问题。基于DH矩阵法，建立了系统的运动学方程，分析了工艺中离子源和工件的安装误差以及离子源相对于工件的六项对刀误差对加工定位的影响，建立了误差模型。在求解运动学方程时引入纠补矩阵，以消除离子源确定性的安装偏差对切平面定位误差的显著影响。补偿后的误差分析表明：切平面误差模型对对刀和安装精度提出要求后，靶距误差和入射角度误差同时也受到了限制，对加工的影响可以忽略不计。

关键词：离子束加工 后置算法 误差模型 误差补偿 

单位：国防科学技术大学 长沙 410073