摘要：分析了一种由直径3mm的电磁微马达驱动的微装配机器人的精密定位方法和原理，提出了转矩自平衡的概念。在动力学分析的基础上，应用MATLAB建立了微机器人步进运动模型，利用该模型对精密定位时的微步进运动进行了仿真研究。仿真及实验结果说明了转矩自平衡在精密定位中发挥了作用，也表明了控制通电电流可实现较为稳定的定位。

关键词：移动微机器人 电磁微马达 精密定位 转矩自平衡 

单位：燕山大学 秦皇岛066004 上海交通大学薄膜与微细技术教育部重点实验室 上海200030