摘要：以弹性薄板小挠度弯曲理论为基础，采用林滋泰德-庞加莱法对微板机电耦合动力学响应进行摄动，求出满足精度要求的动力学响应解。在算例分析中，以静电微泵泵膜为研究对象，进行了实例计算。计算结果表明，这种非线性分析方法得到的动力学响应在精度上更加具有优势，能够有效增加系统设计的合理性，提高设计精度。

关键词：微机电系统 微板 机电耦合 非线性动力学 动力学响应 

单位：燕山大学 秦皇岛066004