摘要：为准确计算圆形复合薄膜压电振子的弯曲变形量，利用弹性薄板变形理论建立了压电振子弯曲变形挠曲线方程，对影响振子变形量的参数进行了数值模拟分析，得到增大振子变形量的方法，通过实验测试了不同尺寸振子准静态振幅和幅频特性。分析和测试结果表明：为了增大振子变形量，可增大驱动电压，增大陶瓷片与基板直径比；当陶瓷片与基板厚度比为0．8时，振子变形量最大；在保证黏结强度的情况下，胶层厚度越小，振子变形量越大；圆形压电振子在谐振点处振幅仅为静态变形量的5％～10％，准静态振幅为静态变形量的50％～60％。

关键词：压电振子 弯曲振动 数值模拟 压电陶瓷 

单位：深圳大学 深圳518060 吉林大学 长春130025