摘要：为了提高测量精度，将精密测角中的“全组合测量法”应用到多齿盘的基准面测量中，搭建了测量平台并给出了测量步骤与数据处理方法。通过反复测量与研磨，将活动多齿盘外端面相对于啮合平面的平行度最大偏差由原来的4μm减小到0．29μm左右，大大提高了多齿盘的安装基准面的精度，减小了多齿盘分度精度的损失，为加工1级（ISO1328—1：1995）齿距精度的超精密齿轮做好铺垫。该测量方法可以推广到任何精密回转零件的端跳测量中，以达到精密测量与误差分离的效果。

关键词：全组合测量法 排列互比法 多齿分度盘 误差分离 

单位：大连理工大学精密特种加工及微系统教育部重点实验室 大连116023 大连理工大学微纳米技术及系统辽宁省重点实验室 大连116023