摘要：具有快速响应特性的薄膜热电偶非常适用于测量瞬变温度，其动态特性理论分析一直都是研究的重点和难点。以流体为被测对象，提出了以对流换热为边界条件的薄膜热电偶-维非稳态传热模型，并依据此模型模拟Cu／CuNi薄膜热电偶阶跃温度响应，同时利用迅速投掷法对用磁控溅射法制备的热结点厚度为1μm的Cu／cuNi薄膜热电偶进行动态标定。模拟和实验结果都表明薄膜热电偶阶跃响应近似于一阶系统，可以用时间常数来反映动态特性，理论和实测的时间常数分别为4．28ms和7．89ms。从结果可以看出，理论值接近实验值，从而验证了该模型的合理性，为进一步提高薄膜热电偶的动态特性提供了理论基础。

关键词：薄膜热电偶 动态特性 传热模型 时间常数 

单位：上海理工大学; 上海200093