摘要：将最小能量法与均匀压力载荷下圆薄膜大变形半解析解相结合，分析了静电驱动柔性微型阀对静电驱动振膜微泵压升性能的影响。微型阀容积的引入会导致静电驱动振膜微泵的压升出现一定程度的降低，但降低幅度远小于阀门容积对常规定排量泵的影响。微型阀的阀片以柔性薄膜为基片，因此所需的关阀电压远远低于微泵泵腔的驱动电压，从而使静电微泵和微型阀运行的可靠性得到了极大的提高。

关键词：微泵 微型阀 静电驱动 柔性振膜 

单位：上海交通大学; 上海; 200240