摘要：为了实现构件内部微小结构的直接加工,提出了利用超声悬浮技术建立内部微粒运动的声悬浮操控加工方法。建立了超声悬浮操控微粒运动模型,设计了试验系统并进行了构件内通道悬浮微粒的运动操控试验,建立了悬浮力与微粒直径、内部通道尺寸、透射厚度的关系。结果表明,提出的方法可以在三维空间内实现悬浮微粒较高速度的跟随移动和较高的运动精度控制,微粒能在构件内部可靠悬浮且连续运动形成运动轨迹。研究结果为直接加工内部结构提供了可行的运动操控方案。

关键词：内加工 超声悬浮 微粒 运动操控 

单位：杭州电子科技大学; 杭州310018