摘要：基于平板间气膜内气体分子运动和碰撞的规律,提出气膜分层理论,将板间气膜内的气体划分为近壁层、稀薄层、连续流层。给出了划分稀薄层和连续流层的依据,建立分层物理模型并提出每层的控制方程,验证了分层理论的合理性。通过大规模原子/分子大型并行模拟器仿真板间气膜内气体流态并计算沿高度方向的压力,得出了如下结论：随着板间气体流速的增大,板间气膜有效压力减小,连续流层的厚度增大,稀薄层的厚度减小;当气体流速到达一定值时,气膜内压力不再分层,速度滑移现象可以忽略。

关键词：微机电系统 微流体 速度滑移 knudsen数 分子碰撞 

单位：昆明理工大学; 昆明650500