摘要：针对大面积纳米压印脱模工艺,开展了揭开式脱模机理和规律的研究。基于界面黏附能理论,建立了气体辅助揭开式脱模力预估模型;基于应变能法和脱模过程中能量守恒定律,建立了气体辅助揭开式脱模临界脱模速度模型。利用ABAQUS工程数值模拟软件,分析得到纳米压印工艺参数（脱模力、脱模角度、脱模速度）对揭开式脱模的影响规律。

关键词：大面积纳米压印 揭开式脱模 脱模力 脱模速度 

单位：青岛理工大学纳米制造与纳光电子实验室; 青岛266033