摘要：提出了一种微型集成活齿传动系统,介绍了其工作原理,推导了微尺度下任一活齿在不同啮合位置的静力学方程,利用范德华势函数对活齿所受的范德华力进行求解,研究了考虑范德华力时啮合活齿所受波发生器、活齿架、中心轮三者作用力的变化规律;运用Hertz理论,对活齿与波发生器、活齿架、中心轮的接触应力进行了理论推导,并研究了微结构不同几何参数对活齿所受作用力及接触应力规律的影响。

关键词：微机电系统 微型活齿传动 范德华力 接触应力 

单位：燕山大学机械工程学院; 秦皇岛066004