首页 > 期刊 > 中国现代教育装备 > 硅集成电路研究 【正文】
摘要：本文介绍了硅集成电路的主要发展方向和趋势，重点阐述了硅集成电路制造过程中的关键技术和技术突破点。
关键词：硅集成电路 发展趋势 关键技术
单位：陕西国防工业职业技术学院 陕西西安710300
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