首页 > 期刊 > 半导体信息 > 浙江大学研制成功12英寸掺氮硅单晶 【正文】
摘要：<正> 浙江大学硅材料国家重点实验室传来消息,该实验室不久前成功"拉"出了一条具有我国自主知识产权的12英寸掺氮硅单晶。硅单晶是计算机、通信和网络等信息微电子产业的基础材料,随着信息微电子产业的
关键词：硅单晶 微电子产业 国家重点实验室 自主知识产权 微缺陷
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