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转换反应室的观测窗结构

表面技术 2006年第01期

摘要:本实用新型涉及一种转换反应室的观测窗结构.该转换反应室上方设有一观测口,该观测窗是结合于该观测口之上,并且该观测窗与该观测口周围之间设有一密封的0形环,又在该0形环与该观测窗之间设有一环形垫片。从而,可避免观测窗发生裂缝,进而降低生产成本并提高生产率。

关键词:观测窗反应室结构实用新型高生产率

单位:台湾省友迭光电股份有限公司

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