摘要：综述了铟锡氧化物（ITO）薄膜的生产技术概况及其发展趋势。介绍了ITO薄膜的主要制备技术的制备原理，包括磁控溅射法、溶胶一凝胶法、化学气相沉淀法、喷雾热分解法及真空蒸发法等5种制膜工艺，并对其优缺点进行了分析。指出ITO薄膜生产技术的发展趋势为：1）大力开发溶胶一凝胶工艺；2）进一步深入研究其合成机理与性能；3）拓宽应用领域；4）开发先进的薄膜制备工艺技术。

关键词：铟锡氧化物薄膜 制膜工艺 发展趋势 

单位：中南大学材料科学与工程学院; 湖南长沙410083; 厦门大学化学化工学院化学工程与生物工程系; 福建厦门361005