摘要：采用离子束辅助沉积技术（IBED）制备了一系列碳膜，重点分析辅助气体CH4、Ar对碳膜组成相、电阻率、厚度和硬度的影响。结果表明：采用CH4辅助轰击制得的薄膜厚度高于采用Ar辅助轰击的薄膜厚度；采用Ar辅助轰击的薄膜在硬度、结合强度方面要优于CH4辅助轰击的薄膜；相对于类金钢石薄膜，所制备的碳膜更接近于类石墨膜。

关键词：离子束辅助 增强沉积 碳膜 类石墨膜 结合强度 

单位：华东理工大学化工机械研究所; 上海200237; 西安交通大学材料学院; 陕西西安710049