摘要：一种表面处理系统，在其中，将用于一沉积反应的气体注入一沉积室中并且施加电能，以便形成在一个或多个表面处理物体上形成沉积层的沉积反应。在其中，所述的沉积室具有多个平行设置的沉积空间和一个用于将所述的表面处理物体输送到每一个沉积空间或在一沉积反应后将所述的表面处理物体从每一个沉积空间输送来的传输单元。

关键词：表面处理 系统 沉积反应 积空间 气体注入 

单位：韩国LG电子株式会社