摘要：采用溶胶-凝胶工艺在普通玻璃片上制备了掺铝氧化锌薄膜。通过X-射线衍射（XRD）、原子力显微镜（AFM）对薄膜的组织结构和形貌进行了表征,结果表明：用溶胶-凝胶法制得的掺铝氧化锌薄膜为纤锌矿型结构,呈c轴方向择优生长,表面均匀、致密。通过紫外-可见透射光谱（UV）和标准四探针法对薄膜的光电性能进行了研究。试验发现,当铝离子掺杂浓度为4%（摩尔分数）、溶胶物质的量浓度为0.6mol/L、前处理温度为300℃时,薄膜在可见光区的透过率超过80%,且具有较好的导电性,电阻率为8.0×10-4Ω.cm。

关键词：铝离子掺杂 c轴择优取向 光电性能 氧化锌薄膜 

单位：安徽工程科技学院机械系; 安徽芜湖241000; 安徽省白湖阀门厂有限公司; 安徽巢湖231508