摘要：在经过离子氮化处理的H13钢基体上,采用闭合场非平衡磁控溅射法制备了CrTiAlN硬质涂层,并与未氮化的镀膜试样进行了膜基结合强度、膜层微观结构形貌及相组成的对比。结果表明：离子氮化处理可提高基体硬度,形成硬度梯度过渡;氮化＋镀膜复合处理可以显著提高膜基结合强度。

关键词：离子氮化 磁控溅射 渗氮层 crtialn薄膜 结合强度 

单位：太原理工大学表面工程研究所 太原030024 宁波工程学院材料工程研究所 宁波315016