摘要：目的研究酸（HF和HNO3）、碱（NaOH）腐蚀液对晶体硅制绒的影响。方法通过改变NaOH浓度、异丙醇浓度、腐蚀时间研究单晶硅片腐蚀，通过改变酸溶液浓度比研究多晶硅片腐蚀，通过分析微观形貌及表面反射率等考察制备晶体硅制绒工艺参数。结果单晶硅最佳的腐蚀液配比为：NaOH质量浓度15g／L，热碱温度80℃，异丙醇体积分数15％～20％，腐蚀时间10min。在最优化参数下，晶体硅绒表面金字塔大小均匀，高度约为5μm，相邻金字塔间彼此相连，硅表面反射率降低至15％。在V（HF）：V（HNO3）：V（CH3COOH）=10：1：10，腐蚀速率为2μm／min时，晶体硅绒表面呈现较好的沟壑状绒面结构。结论溶液酸碱性的强弱和异丙醇对晶体硅制绒有较大影响，并且直接影响晶体硅的表面反射率。

关键词：单晶硅 制绒 反射率 

单位：徐州工程学院 江苏徐州221008