摘要：目的研究一种复合清洗剂对铜膜表面腐蚀缺陷的控制效果。方法通过单因素实验优化无磨料复合清洗剂组成和相应的清洗工艺，并通过研究优化的清洗条件对不同类型铜晶圆表面划伤、残留颗粒的清洗效果，验证该清洗剂的清洗性能。结果优化的清洗剂组分和清洗工艺为：金属离子螯合剂体积分数0．025％，表面活性剂体积分数0．1％；清洗剂温度30℃，清洗剂流量3L／min。优化的复合清洗剂能大幅度降低铜膜表面划伤和表面粗糙度，对铜膜表面残留的颗粒有较强的去除作用。结论优化的复合清洗剂能够对不同类型铜晶圆表面缺陷进行大幅度的修正，研究成果对提高大规模生产中晶圆的成品率有一定的指导作用。

关键词：复合清洗剂 大分子螯合剂 表面活性剂 铜膜 腐蚀速率 

单位：河北工业大学微电子研究所 天津300130 慕思寝室用品有限公司 广东东莞523000