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镁合金磷酸盐/氮化硅双层复合膜结构及耐蚀性能研究

宋辉 赵明 何广平 冯伟 表面技术 2014年第05期

摘要:目的针对传统镁合金化学转化膜裂纹尺寸大、耐腐蚀性差等问题,制备一种镁合金磷酸盐/氮化硅双层结构的抗腐蚀复合膜。方法先对镁合金进行传统磷酸盐转化处理,再运用等离子体增强化学气相沉积技术沉积氮化硅膜层,分析复合膜的形貌、元素分布、表面电位及极化曲线,并与磷酸盐转化膜进行对比。结果氮化硅膜层能在磷酸盐转化膜裂纹处选择性优先沉积,从而在相当程度上填补转化膜层的裂纹,形成致密的复合膜结构。具有复合膜结构的镁合金表面电位和腐蚀电位明显高于传统磷酸盐转化处理的镁合金。结论镁合金表面制备磷酸盐/氮化硅双层复合膜后.抗腐蚀能力明显高于传统磷酸盐转化处理的镁合金。

关键词:镁合金磷酸盐转化pecvd复合膜耐蚀性

单位:北方工业大学机电工程学院 北京100144 中国科学院深圳先进技术研究院 深圳518055

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