摘要：提出一种基于静态随机存储器（SRAM）的光栅光调制器阵列控制系统电路．介绍了光栅光调制器的加工工艺和工作原理，分析了该控制系统电路的原理和技术指标．利用Cadence软件和无锡华润上华0．5μm工艺，设计和加工了大小为8×8的控制系统电路．通过实验表明：加工的SRAM有源矩阵单元能够实现对输出电压的更新或保持；且加工的控制系统电路能够实现对光栅光调制器阵列的有源控制，从逻辑功能上验证了该控制系统电路设计的正确性．结果表明：只要该控制系统电路的行、列驱动电路能够在248MHz的时钟频率下工作，且有源矩阵单元的开关时间小于121ns，则该控制系统电路可以满足分辨率为1920×1080，帧频为30Hz，灰度级为256的投影显示．

关键词：微机电系统 光栅光调制器 控制系统电路 静态随机存储器 

单位：重庆大学新型纳米器件与系统技术国家重点学科实验室; 重庆400044; 重庆大学光电技术及系统教育部重点实验室; 重庆400044