摘要：介绍一种基于MEMs技术的倾角传感器scA103T的基本工作原理，利用Mscl214单片机通过硬件电路设计，结合软件补偿的办法实现的数字式倾角传感器可适用于±30°的大角度测量。实验表明其非线性度〈IFS％，零点输出〈0．05°；零位电压〈5my；零点漂移〈0．02°／h。

关键词：mems传感器 倾角检测 软件补偿 

单位：北京信息科技大学传感技术研究中心 北京100101