摘要：并行测试在集成电路测试系统的发展过程中越来越重要，并行测试的引入，减少了测试时间，降低了成本。我们在原有测试系统的基础上通过设计多通道参数测量单元模块，实现了多芯片供电及多路直流参数并行测试，大大提高了测试效率。

关键词：多通道 并行测试 参数测试单元 

单位：北京自动测试技术研究所 北京100088