摘要：可靠性是关系产品质量的重要部分。在IC生产环节,微电子工艺的可靠性起着决定性的作用。本文在对微电子工艺可靠性进行简要阐述基础上,指出了研究微电子工艺可靠性必须注意的三个基本出发点,并从原材料控制、设备与工艺控制、环境洁净度控制等方面探讨了提升微电子工艺可靠性的具体措施。

关键词：微电子 可靠性 影响因素 提升措施 

单位：内蒙古自治区河套灌区管理总局解放闸灌域管理局