摘要：X射线显微镜具有分辨率高、透视成像等特点,成为不可替代的无损检测手段。国外近年来出现了一种基于肖特基式场发射阴极的X射线显微镜,其分辨率可达0.1m以内。本文系统分析了该显微镜的工作原理,并对显微镜的未来发展趋势进行了展望。

关键词：x射线显微镜 肖特基式场发射阴极 

单位：中国电子科技集团公司第三十八研究所; 安徽合肥230088