摘要：在现代功率器件中,为了提高功率器件的击穿电压,降低导通电阻,超结结构得到广泛的应用。由于设计要求或是降低J-FET效应等原因,在功率器件的生产中,超结区中的P柱和N柱,并不能做到掺杂浓度和尺寸的完全相同。如果不对进行超结区中N柱和P柱的掺杂浓度进行修正,将会导致超结区中出现不平衡电荷,这些不平衡电荷将会严重影响超结的性能。本文提出一种对超结区内梯形PN柱掺杂浓度的修正方法,并对这种方法进行了仿真验证。

关键词：超级结 功率器件 电荷平衡 mos管 

单位：江南大学物联网工程学院; 江苏无锡214122; 机械工业第六设计研究院有限公司; 河南郑州450007