摘要：介质阻挡放电（DBD）等离子体反应器的负载特性与供电电源的控制方式紧密相关。笔者研究了基于直流调功（PAM）控制的DBD等离子体反应器的负载特性，考虑了高频高压放电电源的电路中的分布参数对负载特性的影响，建立了相应的等效电路模型，对负载特性进行了定量的分析，并进行了同轴介质阻挡放电的实验研究。研究结果表明，随着电源电压的逐渐升高，放电开始时刻逐渐超前于外加电源电压的过零点时刻，但该时刻始终发生于外加电源电压的上升阶段上；放电终止时刻始终发生在外加电源电压的上升率等于零的时刻：负载的等效平均电容逐渐增大，等效阻抗和谐振频率逐渐减小；放电电流和放电功率逐渐增大：放电区域逐渐增大，放电的均匀性也逐渐增加。

关键词：介质阻挡放电 直流调功 负载特性 过零放电 分布参数 

单位：黄冈师范学院物理科学与技术学院 湖北黄冈438000 中国科学院电工研究所 北京100080