摘要：针对光刻设备组的生产特点，基于最小化加工时间对其调度问题建立了整数规划数学模型，并提出了一种启发式调度策略。运用Extend仿真软件对传统的FCFS和启发式调度策略分别进行仿真，结果表明，启发式调度策略在减少加工时间和提高设备利用率上皆优于FCFS。

关键词：光刻区调度 工艺约束 并行多机 extend仿真 

单位：上海理工大学管理学院 上海200093