首页 > 期刊 > 环境技术 > 打造大国重器 芯片高端装备迈向新征程 【正文】
摘要：12月18日，中电科电子装备集团有限公司（以下简称电科装备）传来好消息，自主研发的国内首台中束流离子注入机在中芯国际大生产线上稳定流片逾200万，
关键词：电子装备 芯片 离子注入机 自主研发 稳定流
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