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雷尼绍与多普勒激光干涉仪测量方法比较

郭然 机电工程 2006年第09期

摘要:介绍了雷尼绍激光干涉仪和多普勒激光干涉仪的测量原理,并对这两种激光干涉仪的测量方法进行了比较。结果表明,当只需要测量机床的线性定位精度时,两者都比较适合。当需要测量机床的所有几何误差时,由于多普勒激光干涉仪采用了激光向量技术,测量周期大大缩短,测量效率较高。

关键词:数控机床误差检测激光干涉仪

单位:衢州市广播电视大学; 浙江衢州324000

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机电工程

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