首页 > 期刊 > 机电工程 > 雷尼绍与多普勒激光干涉仪测量方法比较 【正文】
摘要:介绍了雷尼绍激光干涉仪和多普勒激光干涉仪的测量原理,并对这两种激光干涉仪的测量方法进行了比较。结果表明,当只需要测量机床的线性定位精度时,两者都比较适合。当需要测量机床的所有几何误差时,由于多普勒激光干涉仪采用了激光向量技术,测量周期大大缩短,测量效率较高。
关键词:数控机床 误差检测 激光干涉仪
单位:衢州市广播电视大学; 浙江衢州324000
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