摘要：在超磁致伸缩驱动器的基础上，以柔性铰链机构作为传动部件，设计了创新结构的二维精密工作台。应用ANSYS软件对所设计的柔性铰链机构进行了应力和位移分析。设计了闭环控制系统来控制工作台的输出精密和响应速度。经分析，X和Y方向的最大位移量可达0．2mm。

关键词：超磁致伸缩驱动器 柔性铰链 ansys pid控制器 

单位：杭州电子科技大学机电工程学院; 浙江杭州310018