摘要：随着光电子集成和各种平面波导器件的集成度、复杂度越来越高以及光器件的结构越来越精密，用解析的方法对器件进行分析和设计已经无法实现。为实现光学器件的良好设计，以有限差分光束传播法（FD-BPM）为仿真算法开发了光学芯片仿真软件，实现了光波导器件的模拟仿真。由该仿真结果与Matlab仿真结果的对比可知，该仿真软件能达到显示波导状态的基本要求。

关键词：有限差分光束传播法 光学仿真 折射率分布 

单位：杭州电子科技大学微电子CAD研究所 浙江杭州310018