摘要：为了保证在高的面形精度的前提下尽可能地降低硅镜的质量，通过对多种轻量化结构的分析与对比，确定了具体轻量化结构形式并对其进行了优化设计。通过计算机仿真分析证明了该优化设计方案的可行性，并采用超声加工方法实现了硅镜轻量化加工。试验结果表明：轻量化加工的硅镜镜体质量明显降低；虽然镜面精度有所降低，但仍能满足光学系统的设计要求。

关键词：硅镜 轻量化结构 优化设计 超声加工 

单位：杭州电子科技大学机械工程学院 浙江杭州310018