摘要：为解决高精度氮化硅陶瓷球批量研磨加工的问题，将超精密研磨技术应用到氮化硅陶瓷球的加工实验中。开展了研磨过程的分析，建立了不同研磨阶段陶瓷球球度、表面质量及材料去除率与所选不同大小粒度磨料之间的关系，并提出了对比分析的方法，在通过专业设备检测的基础上对成品球球度、表面粗糙度和振动值进行了评价。研究结果表明，氮化硅陶瓷球能够批量生产且球度达到0．062μm以下，表面粗糙度达到1．48nm以下，振动值达到24dB以下，实现了批量生产G3级氮化硅陶瓷球的目的。

关键词：氮化硅 陶瓷球 高精度 表面粗糙度 球度 

单位：浙江工业大学特种装备制造与先进加工技术教育部/浙江省重点实验室 浙江杭州310014 江苏智邦精工科技有限公司 江苏常州213164