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PZT驱动快速控制反射镜的设计与试验

张丽敏 王帅 杨飞 乔兵 机电工程 2013年第07期

摘要:针对望远镜光束对准精确度损失以及光束稳定性难以保持等问题.将快速控制反射镜技术应用到望远镜光路系统中,开展了影响压电陶瓷(PZT)驱动快速控制反射镜性能指标的分析;建立了结构谐振频率、分辨力、通光口径和惯性力等与系统性能之间的关系,根据Rayleigh能量法建立了其基频理论模型,在此基础上建立了有限元模型并对理论模型进行了评价,进行了结构一阶谐振、量程、一致性以及校正能力试验。研究结果表明:与实测结果相比,理论和仿真分析结果误差均小于3%,证明了理论模型简化的合理性与正确性,可以作为后续设计参考;结构双向一致性较好;校正量程大于±4’;校正能力优于0.06”,对于较差视宁(相干长度50mm,等晕角2”)亦可以满足精度高、响应快的应用要求。

关键词:望远镜压电陶瓷快速控制反射镜rayleigh能量法

单位:中国科学院长春光学精密机械与物理研究所 吉林长春130033

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